l 大约10KW/cm的，具有高密度集中能量的电子束照射在工件上，开始先将局部熔解。
l 塞满蒸发物的空洞愈来愈深，并在其周围产生熔融层。
l 电子束贯穿工件，一直到达补助材料处为止。
l 辅助材料于瞬间气化，产生很高的蒸气压，将贯穿孔的蒸发物及熔融层向外部飞散出去以完成钻孔。
为了能正确钻出特定孔径以及深度的孔，通常将加速电功设为一定，而调整电子束电流(脉冲电流)以及照射时间。同时，加工速度依孔径以及孔深来决定其上限，而孔径、孔深愈增加，加工速度就愈降低。
电子束钻子的特征
电子束对材料的侵透力强，并富控制性，具有焦点深度深等特性，同时，利用加工操控轴移动的自动控制，可以获得如下的优点﹕
l 钻孔非常快(最4000孔／秒)。
l 孔的节距正确，可以获得相当漂亮的孔。
l 可以钻出斜角度的孔(对工件表面而言，最低可至20度)。
l 即使是复杂形状的孔也能钻。
l 几乎所有的材料都能钻孔。
电子束钻孔之应用
l 大型微细过滤器
l 真空滚子
l 软燥室
l 工业用微细滤网
此外，使用微细孔滤网的离心分离机、脱水机、自动过滤器、造粒机等都是电子束的用途。以往，孔径0.3mm以下，而且板厚0.5mm以上的滤网是不可能加工的。现在，利用电子束钻孔就可以做到，因此，电子束还可望开发更多新的用途。
